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蓝宝石衬底加工工序



一、晶圆倒角机
蓝宝石衬底倒角工序有哪些:
衬底片属于薄脆零件,通过“切片”后的蓝宝石衬底的四周是锐角,在进行后续工序时容易因应力集中而造成产品缺陷。所以需要将晶片边缘修整成圆弧状,改善薄片边缘的机械强度,避免应力集中造成缺陷。
针对倒角工序,如何能又快又省的加工出符合标准的零件,就是此工序的特点。

晶圆倒角机在“倒角“中的应用:
晶圆倒角机是专门针对蓝宝石衬底的加工而研发的设备。
机床的加工精度高,圆度可以保证小于0.01mm。同时还具备耗材成本低、加工效率远远高于国外进口的同类设备。并且在多家国内企业使用的过程中,已逐步取代了国外设备。
晶圆倒角机的扩展条件大,设备可以在更换治具后,实际异型蓝宝石的产品加工,例:手机镜片,摄像头等。



二、精密双面研磨机

蓝宝石衬底研磨工序:
蓝宝石衬底的研磨工序是衬底基片工艺过程的核心工序之一,基本决定了衬底基片的最终成品质量。为了去除切片时造成的晶片切割损伤层及改善晶片的平坦度, 晶片需要的双面研磨机上进行粗、精研磨。粗研磨采用球墨铸铁制作研磨盘,因其磨料含浸性好。,研磨量应达到18~20μm。
精密双面研磨机在“研磨”中的应用:
可用于蓝宝石衬底的双面研磨机主要有:9.5B、13.6B及16.5B
9.5B因为机床小,装片量不多,目前使用的已经很少。行业主要使用13.6B或16.5B的双面研磨机进行研磨工序。
B型双面研磨机是专门针对超薄、精密零件进行研磨加工而研发。凭借它的长期运行故障低、精度稳定,而得到客户的肯定。
精密双面抛光机工艺支持:
指导客户制作设计专用游星轮。
协助客户布置气路管线,以满足合理的气压要求
指导客户选择适合的研磨液;
帮助客户制订合适生产工艺;

三、精密双面抛光机
蓝宝石衬底抛光工序:
蓝宝石衬底的抛光工序是衬底基片工艺过程的核心工序之一,改善晶片粗糙度,使其表面达到外延片磊晶级的精度。为了让晶片达到标准要求的厚度、粗糙度及翘曲度,晶片需要通过双面抛光机进行抛光加工。双面抛光加工一般是使用抛光皮和钻石液进行抛光,抛光量大约8~10μm。
精密双面抛光机在“抛光”中的应用:
专用于蓝宝石衬底抛光的双面抛光机为16.5B。
蓝宝石的双面抛光工序的工作时间很长,设备需要的长期加压运行,因此设备的长期稳定性和因长期运行将产生高温,对设备设计提出了很多特别要求。
16.5B专用机型,采用B型机床结构,其结构稳定性是得到了行业内的公认,上下磨面特别设计增加上下盘自动冷却系统,最大程度减小设备温升,保证产品精度和稳定性。

精密双面抛光机工艺支持如下:
可指导客户制作设计专用游星轮,并协助客户布置气路管线,以满足合理的气压要求
可指导客户选择适合的抛光液,并帮助客户制订合适生产工艺。

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